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ESD知识(十) | |
日期:2014/5/5 访问: | |
关于百级,千级万级的要求及他们的应用
目前对洁净室等级划分最常用的是美国联邦FS 209E标准 我们常说的100级洁净室说的就是指在1立方英尺的空间内,大于等于0.5微米的粒子必须不多于100个,10级就是1立方英尺的空间,0.5微米的粒子必须不多于10个,1000级则不能多于1000个,
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